Наименование термина
БЕЛ МІКРАСІСТЭМНЫ МАТЭРЫЯЛ
РУС МИКРОСИСТЕМНЫЙ МАТЕРИАЛ
ENG
Нормативное определение (1)
+ Технические нормативные правовые акты (ТНПА)

Микросистемный материал – материал, непосредственно входящий в состав функциональных и конструкционных частей микросистем, упорядоченный в микрообъемах и обладающий отличительными свойствами, обусловленными эффектами субмикронного масштабирования.

Ассоциативные связи