| БЕЛ | МІКРАСІСТЭМНЫ МАТЭРЫЯЛ |
|---|---|
| РУС | МИКРОСИСТЕМНЫЙ МАТЕРИАЛ |
| ENG |
Микросистемный материал – материал, непосредственно входящий в состав функциональных и конструкционных частей микросистем, упорядоченный в микрообъемах и обладающий отличительными свойствами, обусловленными эффектами субмикронного масштабирования.