Осаждение: Технологический процесс получения пленок необходимого состава и толщины путем осаждения на подложку паров, плазмы или раствора.
Общегосударственный классификатор Республики Беларусь. Конструкторско-технологический классификатор изделий машиностроения и приборостроения, утвержденный постановлением Комитета по стандартизации, метрологии и сертификации при Совете Министров Республики Беларусь от 20 мая 1994 г. № 5, с изменениями и дополнениями, внесенными постановлением Министерства промышленности Республики Беларусь от 6 ноября 2020 г. № 3