БЕЛ | ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ |
---|---|
РУС | ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ |
ENG |
Ионная имплантация – процесс модификации поверхности, когда легирующий материал ионизируется, ускоряется в электрическом поле и имплантируется в приповерхностный слой подложки. Это определение включает также процессы, в которых ионная имплантация производится одновременно с физическим осаждением из паровой фазы, полученной нагревом электронным пучком, или с осаждением распылением.
(Национальный реестр правовых актов Республики Беларусь, 2008 г., № 42, 8/17945 (опубликован - 22 февраля 2008 г.)
Ионная имплантация – процесс модификации поверхности, когда легирующий материал ионизируется, ускоряется в электрическом поле и имплантируется в приповерхностный слой подложки.
Definition expired (Национальный реестр правовых актов Республики Беларусь, 2008 г., № 42, 8/17945 (опубликован - 22 февраля 2008 г.)