Name of the term
БЕЛ ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ
РУС ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
ENG
Normative definitions (2)
+ Legislation on customs regulation

Ионная имплантация – процесс модификации поверхности, когда легирующий материал ионизируется, ускоряется в электрическом поле и имплантируется в приповерхностный слой подложки. Это определение включает также процессы, в которых ионная имплантация производится одновременно с физическим осаждением из паровой фазы, полученной нагревом электронным пучком, или с осаждением распылением.

(Национальный реестр правовых актов Республики Беларусь, 2008 г., № 42, 8/17945 (опубликован - 22 февраля 2008 г.)

+ Expired acts

Ионная имплантация – процесс модификации поверхности, когда легирующий материал ионизируется, ускоряется в электрическом поле и имплантируется в приповерхностный слой подложки.

Definition expired (Национальный реестр правовых актов Республики Беларусь, 2008 г., № 42, 8/17945 (опубликован - 22 февраля 2008 г.)

Associative links