Микроэлектромеханическая система (МЭМС) – миниатюрное электромеханическое исполнительное устройство, относящееся к широкому семейству микромеханических сенсоров, исполнительных механизмов, актюаторов и микропроцессорных систем, работа которых основана на совместном действии электрических, механических, термических, магнитных, химических, оптических и других эффектов.