БЕЛ | ХІМІЧНАЕ АСАДЖЭННЕ З ПАРАВОЙ ФАЗЫ (CVD) |
---|---|
РУС | ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ (CVD) |
ENG | CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (CVD) |
Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) – процесс нанесения внешнего покрытия или покрытия с модификацией поверхности подложки, когда металл, сплав, композиционный материал, диэлектрик или керамика осаждаются на нагретую подложку.
(Национальный реестр правовых актов Республики Беларусь, 2008 г., № 42, 8/17945 (опубликован - 22 февраля 2008 г.)