Найменне тэрміна
БЕЛ АСАДЖЭННЕ РАСПЫЛЕННЕМ
РУС ОСАЖДЕНИЕ РАСПЫЛЕНИЕМ
ENG
Нарматыўныя вызначэнні (2)

Осаждение распылением – процесс нанесения внешнего покрытия, основанный на передаче импульса, когда положительные ионы ускоряются в электрическом поле в направлении к поверхности мишени (материала покрытия). Кинетическая энергия падающих на мишень ионов достаточна для выбивания атомов с поверхности мишени, которые затем осаждаются на соответствующим образом установленную подложку. Особые примечания: а) таблица относится только к триодному, магнетронному или реакционному осаждению распылением, которое используется для увеличения адгезии материала покрытия и скорости осаждения, а также к радиочастотному расширению процесса, что позволяет испарять неметаллические материалы; б) для активации процесса осаждения могут быть использованы низкоэнергетические ионные пучки (менее 5 КэВ).

(Национальный реестр правовых актов Республики Беларусь, 2008 г., № 42, 8/17945 (опубликован - 22 февраля 2008 г.)


Осаждение распылением – процесс нанесения внешнего покрытия, основанный на передаче импульса, когда положительные ионы ускоряются в электрическом поле в направлении к поверхности мишени (материала покрытия).

Вызначэнне страціла сілу (Национальный реестр правовых актов Республики Беларусь, 2008 г., № 42, 8/17945 (опубликован - 22 февраля 2008 г.)

Асацыятыўныя сувязі